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沛沅等离子刻蚀机
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等离子刻蚀机是利用气体放电生成的等离子体对材料表面进行刻蚀。在高频电场作用下,气体分子离子化并形成等离子体,在等离子体中产生的活性粒子(如离子、自由基等)与材料表面发生化学反应,将材料表面的原子或分子去除,从而实现对材料的刻蚀,可分为干法刻蚀机和湿法刻蚀机两种类型。干法刻蚀机主要利用等离子体刻蚀,而湿法刻蚀机则利用液体溶液对材料表面进行刻蚀。
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