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8 光学邻近效应是怎么一回事呢?
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衍射成像会在光波传输过程中丢失部分高频分量,使成像清晰度降低,反映在掩膜成像上就是本来方角的掩膜图形变成圆角,或线端变短,这就是光学邻近效应。 随着集成电路的集成度增加,这种邻近效应引起的图形变换已经与图形本身的尺寸相比拟。为了保证电路设计的尺寸在加工过程中失真最小,必须对各种光学邻近效应进行校正。 光学邻近效应校正(optical proximity correction, OPC)的方法是有意改变掩模设计的形状和尺寸来补偿图形局部曝光过强或过弱。
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