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高生产力自动化解决方案——超声喷涂机半导体设备
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YMUS超声波喷涂制备半导体晶圆的工艺具有快速、均匀、精确控制厚度和成本低等优势。超声波喷涂减少了颗粒团聚的可能性,提高了电极的均匀性和稳定性。
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