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碳化硅的制作步骤
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通常使用高纯度的二氧化硅和碳化物粉末(如石墨粉末)作为原料,将碳化硅粉末加入有机溶剂中,通过搅拌和筛选等工艺制成碳化硅涂料,将碳化硅涂料涂布在模具或硅片上,并干燥。将涂覆好的模具或硅片放入烧结炉中,通过高温烧结,使碳化硅颗粒结合成坚硬的晶体。再根据具体需要,把烧结好的碳化硅块切割、磨削、抛光等处理工艺后,制成碳化硅器件
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