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电子探针显微镜EPMA的原理及应用
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电子探针X射线显微分析仪(EPMA)的简称。电子探针利用0.5um-1um的高能电子束激发分析试样,通过电子束与试样相互作用产生的特征X射线、二次电子、吸收电子、 背散射电子及阴极荧光等信息来分析试样的微区内(um范围内)成份、形貌和化学结合状态等特征。
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