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【科技英语】为什么世界依赖 ASML光刻机(芯片打印机器)
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ASML Holding N.V.(通常简称为ASML,原意为Advanced Semiconductor Materials Lithography)是一家成立于1984年的荷兰跨国公司。ASML专注于开发和制造用于生产计算机芯片的光刻机。 截至 2022年,它是半导体行业最大的供应商,也是世界上用于制造最先进芯片的极紫外光刻 (EUV) 光刻机的唯一供应商。截至2023年,ASML 是市值最高的欧洲科技公司,市值约为2700亿美元。 Extreme ultraviolet lithography极紫外光刻(也称为 EUV 或 EUVL)是一种光学光刻技术,用于半导体器件制造以制造集成电路 (IC)。 它使用接近13.5nm 的极紫外 (EUV) 波长,使用激光脉冲锡 (Sn) 液滴等离子体,通过使用反射光掩模曝光光刻胶覆盖的基板来产生图案。 目前仅应用于最先进的半导体器件制造。 截至2023年,ASML Holding 是唯一的一家生产和销售用于芯片生产的 EUV 系统的公司,目标是5纳米和3纳米工艺节点。 在2019年国际电子器件会议 (IEDM) 上,台积电报告称其5纳米节点在接触、通孔、金属线和切割层中使用了 EUV,其中切割可应用于鳍片、栅极或金属线。 在 IEDM2020上,台积电报告其5纳米节点最小金属间距比其7纳米节点40纳米减少了30%(至约28纳米)。三星的5纳米节点在光刻上的设计规则与其7纳米节点相同,最小金属间距为36纳米。
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