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聚焦离子束显微镜fib sem edx
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FIB(聚焦离子束,Focused Ion beam) 工业和理论材料研究,半导体,数据存储,自然资源等领域 服务内容:1.芯片电路修改和布局验证 2.Cross-Section截面分析 3.Probing Pad 4.定点切割 案例展示: 服务介绍:SEM/EDX(形貌观测、成分分析.服务内容:1.材料表面形貌分析,微区形貌观察 2.材料形状、大小、表面、断面、粒径分布分析 3.薄膜样品表面形貌观察、薄膜粗糙度及膜厚分析 4.纳米尺寸量测及标示 5.微区成分定性及定量分析
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