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COMOSL微波等离子体仿真
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简化的微波等离子体炬模型,将电磁场、等离子体、流体传热全部耦合计算,得到电子密度、气体温度等主要物理参数随时间的瞬态变化,仿真结果与实验结果有较好的一致性,但仍存在不足或需要改进的地方,欢迎交流讨论!
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