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解码EUV光刻:探究这头半导体界的'牛'怎么跑
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随着科技的不断发展,半导体产业的精度和工艺也在不断提升。其中,极紫外光刻技术(Extreme Ultraviolet Lithography, 简称EUVL)在近年来受到了越来越多的关注。EUVL是一种新型的光刻技术,以其精密度和效率提升为半导体工艺带来了全新的可能性。
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