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多层陶瓷电容器(MLCC)的氩离子束处理
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https://www.youtube.com/watch?v=YwrvTp5LeZ8 采用聚焦离子束法(FIB)制备了多层陶瓷电容器(MLCC),后用Ar离子束(ArIB)对其进行了处理。FIB制备的样品显示出模糊的介电颗粒,而ArIB处理的样品则显示出了强对比度的沟道结构。将ArIB集成在FIB-SEM-Ar三束系统中,可以在不暴露于空气中的情况下消除FIB对样品造成的损伤。
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