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导电原子力显微镜(C-AFM)在二维材料及纳_米电子器件中的应用
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导电原子力显微镜(C-AFM)是一种非常有用的扫描探针显微镜(SPA)纳米表征技术,它不仅可以对样品的形貌进行表征,更重要的是可以探测许多介质材料和电子器件的局部电学性质。C-AFM技术已经成功表征了介质薄膜的许多重要的纳米级现象,比如:局部缺陷、电荷捕获和释放、应力诱导漏电流、负偏置温度不稳定性等。 本讲座首先简要介绍C-AFM技术的发展历程、工作原理、工作特点及方式;其次重点介绍C-AFM技术在二维材料和忆阻器中的电学表征应用。 了解更多最新信息可关注微信公众号:Park原子力显微镜
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