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Lam Research- 3D NAND - Key Process Steps (2016)
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3D NAND 是一种可实现更高密度的存储器的技术转折。 想看看结构是如何制作的吗? 该视频展示了film stack deposition, channel hole etch, stair etch, slit etch, and word line fill-定义这种创新存储器结构的关键步骤。
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