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29_半导体材料 04 CMP材料:立足国内,出击海外
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前面两节课,我们已经讲了硅片和光刻胶两种材料,本节课我们就进入CMP环节,看一看CMP过程中需要用到的材料。其实,相比于硅片和光刻胶,CMP材料要简单很多,因为两种核心的CMP材料,包括抛光液和抛光垫,在国产这边都是一家公司独大,并且产品已经开始出海,所以在替代进口的道路上,竞争压力比较小。
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