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参观ASML并深入研究衍射和成像机制
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https://www.youtube.com/watch?v=rdlZ8KYVtPU 描述:参观ASML并深入研究衍射和成像机制:0:00 导言;3:14 如今芯片图案有多大?5:00 抵达ASML Veldhoven;5:50 Sander Blok采访第一部分;7:40 关于衍射和图像形成;9:36 法朗霍弗(远场)干涉/衍射解释;11:15 光刻掩模上的衍射;15:11 关于临界尺寸;17:27 计算光刻的示例;19:23 Sander Blok采访第二部分;21:46 EUV很困难...顺便提一下,锡液滴的频率显然是每秒50,000次而不是15,000
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