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椭偏仪测量薄膜厚度和折射率
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椭圆偏振测厚技术是一种测量纳米级薄膜厚度和薄膜折射率的先进技术,其基本测量思路是:起偏器产生的线偏振光经取向一定的λ/4波片后成为特殊的椭圆偏振光,把它投射到待测样品表面时,只要起偏器取适当的透光方向,被待测样品表面反射出来的将是线偏振光。根据偏振光在反射前后的偏振状态变化,包括振幅和相位的变化,便可以确定样品表面的许多光学特性。
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