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光刻机聚光镜镀膜被河南公司攻破
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光刻的物镜,不是一个镜片,是十几个一组镜片,不断将光源过滤、反射、修正。 其镀膜工艺,已经可以解决高反射膜,长波通滤光片,短波通滤光片,分光膜等工艺。
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