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你知道光刻机的无尘室能多重吗?
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光刻机的稳定运行,不仅需要极致的无尘和洁净,环境的稳定无震动也非常重要。为此,无尘室的地板都必须达到55厘米的厚度,这相当于1000台校车的重量。
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