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电子束光刻及操作技术
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https://tnf.ime.tsinghua.edu.cn/info/1334/1732.htm 转自清华大学微纳加工中心。 电子束光刻及操作技术培训-第一部分 本期培训内容是《电子束光刻及操作技术培训》,主要基于NB5型电子束光刻机进行讲解。 NB5型电子束光刻机可以兼容不大于8英寸晶圆的任意形状样品;加速电压为20-100kV连续可调;加速电压为100kV时,曝光时的束流范围为0.2-120nA,并且在加速电压为100kV,束斑直径为3nm的条件下,能实现2.3nA的束流;稳定复现最小10nm的加工精度。 第一部分,培训视频约24分钟,包括以下4部分内容: 1 电子束光刻机技术介绍 主要介绍电子束光刻的定义、特点、优势以及应用场景。 2 NB5型电子束光刻机介绍 主要介绍NB5型电子束光刻机的主要参数、系统构成和双偏转系统对工艺的改善。 3 电子束抗蚀剂 主要介绍常用的4种抗蚀剂,包括PMMA、UV135、AR-N-7520和HSQ。 4 电子束光刻版图设计 主要介绍版图设计中的基本规则,包括合理分割图形、合理分布图形、调整图形尺寸和3D图形的版图设计。
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电子束光刻二
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