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北大/国防科大:晶圆级超平石墨烯!
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https://www.nature.com/articles/s41467-022-33135-w 国防科技大学前沿交叉学科学院朱梦剑-秦石乔课题组与北京大学化学与分子工程学院彭海琳课题组合作,设计了一种梯度表面能调控的复合型转移媒介,实现了晶圆级超平整石墨烯向半导体衬底的干法贴合与无损释放,得到了晶圆级无损、洁净、少掺杂的均匀石墨烯薄膜,展示了高迁移率石墨烯器件输运性质,观测到室温量子霍尔效应及低温分数量子霍尔效应,并构筑了硅基集成的4英寸晶圆级石墨烯热电子发光阵列器件。研究成果以“基于梯度表面能调控的晶圆级超平整石墨烯集成”(Integrated wafer-scale ultra-flat graphene by gradient surface energy modulation)为题,在线发表在国际顶级期刊《自然-通讯》(Nature Communications 2022, 13, 5410)。
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