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万字浅解国产EUV光刻机光学系统 长春光机所王大珩 4K(下架后重制版)
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EUV光刻机共有三大核心技术,分别为EUV光源系统,高精度弧形离轴反射镜构成的光学系统以及超高精度真空双工件台。其中EUV光学系统就像科幻世界中的虫洞那样,这边是碳基人类的物理世界,那一边则连接着硅基微观赛博世界。中国的光学领域的龙头老大是中科院长春光学精密机械和物理研究所。EUV光刻机的高精度弧形离轴反射镜系统,长春光机所义不容辞挑起了大梁。
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