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制造EUV光刻机是人类最难的技术吗?我们能搞出来吗?10分钟了解EUV光刻机的技术难点【芯片系列第四期】
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制造EUV光刻机有多难? 要产生EUV光源有几种方式?同步辐射光源、自由电子激光、放电产生等离子体和激光产生等离子体 EUV光刻机的技术难点在哪里? 光源、反射镜、光掩模技术
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