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EUV光刻机的光源是如何工作的?华为还缺什么(半熟肉XD)
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视频来自cymer官方账号 cymer是asml EUV光刻机中EUV光源的供应商,方案为LPP (Laser-produced plasma), 中文名称,激光等离子体 cymer的光源用到了德国TRUMPF的超大功率CO2激光器,用激光照射液态锡,从而激发13.5nm的极紫外光。 国内目前已知的参与EUV光源研发的单位有,上海光机所,长春光机所,哈工大,清华,华中科技等等
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