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【大时代】制造EUV光刻机,难在哪?
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视频资料来源: 科技日报《是什么卡了我们的脖子》 ASML全球副总裁严涛南《EUV光刻机20年量产历程》 清华大学唐传祥教授《稳态微聚束加速器光源》论文 哈利·杰·莱文森《极紫外光刻》 马克·范·洛登《晶体帝国:ASML和全球半导体战争》 安迪·爱德曼《光学光刻和极紫外光刻》 落英行者:万字浅解国产EUV光刻机光学系统 ASML官网 ZEISS SMT官网 TRUMPF官网 Gigaphoton官网 Lasertec Corp官网 环球网
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