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多晶硅生产工艺
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改良西门子法是一种化学方法,首先利用冶金硅(纯度要求在99.5%以上)与氯化氢(HCl)合成产生便于提纯的三氯氢硅气体(SiHCl3,下文简称TCS),然后将 TCS 精馏提纯,最后通过还原反应和化学气相沉积(CVD)将高纯度的TCS转化为高纯度的多晶硅,还原后产生的尾气进行干法回收,实现了氢气和氯硅烷闭路循环利用。
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