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半导体加工流程(1)
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芯片制造环节中,芯片是如何被“点沙成金”的呢?看似无关且不起眼的沙子,富含二氧化硅,而二氧化硅通过高温加热、纯化、过滤等工艺,可从中提取出硅单质,然后经特殊工艺铸造变成纯度极高的块状单晶硅,称作单晶硅棒(Crystal Ingot)。单晶硅棒根据用途被切割成0.5mm-1.5mm厚度的薄片,即成为芯片的基本原料,硅晶圆片,这便是“晶圆(Wafer)”。晶圆(Wafer)经过抛光处理及一系列严格筛查后,投入第一阶段的生产工艺,这一阶段主要完成集成晶体管的制造,包括光刻、薄膜、刻蚀、清洗、注入等几大模块的工艺。
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