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长春光机所极紫外技术获国家科技奖,不是光刻机但离你们想得不太远
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长春光机所刚刚获得国家科学进步奖的极深紫外技术,其实跟光刻机没有关系,那是空间测量和监测技术。但从技术原理上说,它跟光刻机对于极深紫外光源的设定和要求,有着千丝万缕的联系。
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