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体微加工工艺4-1-刻蚀方法与关键参数
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第四章主要讲述各类刻蚀方法
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体微加工工艺4-2湿法刻蚀
体微加工工艺4-4等离子体刻蚀
体微加工工艺4-5等离子体刻蚀的几个补充问题
第三章表面微加工3-2 热扩散与离子注入
第三章表面微加工3-7化学气相沉积CBD
第三章表面微加工3-6化学气相沉积CVD
第三章表面微加工3-8电镀与应力问题
速通30多年的光刻技术
第三章表面微加工3-1热氧化
MEMS键合5-3金属扩散键合与共晶键合
第三章表面微加工3-5 PVD溅射
第三章表面微加工3-4 等离子体基础
MEMS键合5-2硅直接键合与等离子体辅助键合
第三章表面微加工3-3物理气相沉积PVD
MEMS工艺综合6-1
MEMS键合5-1阳极键合
换能器材料与原理8-1
开合机构原理动画
微纳工程基础-Part2.6 光刻-技术点补充
压力传感器及设计9-1
微纳工程基础-MEMS绪论P4
微纳工程基础-Part2.1 MEMS材料简介
总感觉哪里不太对劲#数控加工 #cnc加工中心 #机加工
第三章表面微加工3-9案例
航空发动机叶片制造过程
盘点那些你经常使用但不知道如何生产出来的产品2
逆变器原理
微纳工程基础Part_2.5 光刻-分辨率的影响因素
微纳工程基础-MEMS绪论P3
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(6)3000F的超级电容等于多少毫安?能储存多少电量?
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MEMS工艺综合6-3
微纳驱动器10-1
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