微纳驱动器10-1
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微驱动器10-2
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换能材料与原理8-3
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换能材料与原理8-2
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换能器材料与原理8-1
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微纳工程基础-Part2.1 MEMS材料简介
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微纳工程基础-MEMS绪论P4
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微纳工程基础Part_2.5 光刻-分辨率的影响因素
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MEMS工艺综合6-1
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微纳工程基础-Part2.6 光刻-技术点补充
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MEMS设计基础7-1
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第三章表面微加工3-7化学气相沉积CBD
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MEMS工艺综合6-2
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第三章表面微加工3-6化学气相沉积CVD
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02_Kisssoft 重合度&比滑
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MEMS键合5-4树脂键合与键合评价
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换能材料与原理8-4
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微纳工程基础Part_2.4光刻基本流程
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第三章表面微加工3-3物理气相沉积PVD
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微纳工程基础-MEMS绪论P1
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MEMS设计基础7-3
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MEMS键合5-1阳极键合
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第三章表面微加工3-4 等离子体基础
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MEMS键合5-2硅直接键合与等离子体辅助键合
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体微加工工艺4-3气相化学刻蚀
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第三章表面微加工3-8电镀与应力问题
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第三章表面微加工3-5 PVD溅射
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体微加工工艺4-2湿法刻蚀
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体微加工工艺4-1-刻蚀方法与关键参数
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MEMS设计基础7-2
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体微加工工艺4-4等离子体刻蚀
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第三章表面微加工3-1热氧化
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体微加工工艺4-5等离子体刻蚀的几个补充问题
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MEMS键合5-3金属扩散键合与共晶键合
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环形驱动器再升级，用于机器人关节模组
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MEMS设计基础7-4
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基恩士的显示反转功能，你必须要知道的。
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MEMS工艺综合6-3
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深度解析：美国海军太平洋第七舰队
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