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微纳器件与集成电路工艺5.2-薄膜淀积技术-物理气相沉积(PVD)
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一.薄膜淀积 二.物理气相沉积-PVD 三.蒸发 四.蒸发源 五.溅射 六.PVD工艺的台阶覆盖
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