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Transform ALD 镀膜设备
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Beneq Transform ALD 设备专为化合物半导体制造而设计,包括射频集成电路(GaAs / GaN / InP)、LED、VCSEL、光探测器等相关领域的MEMS制造商和代工厂,将受益于全新的Transform系列,实现具有市场竞争力的ALD批量处理能力,并有效提升器件的性能和可靠性。Transform300则在原本优势的Transform系列上继续扩充,进一步适用300mm晶圆产品的ALD镀膜需求,具备卓越的通用性及多功能性,同样也是FAB-READY,可轻松集成到客户的产线上。
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