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RTP快速退火炉
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本品是一款快速退火炉,采用卤素灯管加热,可用于快速热退火、快速热氧化、快速热氮化、硅化、扩散、化合物半导体退火、离子注入后退火、电极合金化、晶化和致密化、合金熔点分析、薄膜沉积、等等。
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