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[Photolithography Part2] Imaging & RET
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https://www.youtube.com/watch?v=-aMaPLPnSn8&t=3s 该视频脚本介绍了光刻技术中的各种先进技术和挑战,包括Imaging & RET Flex Ray技术、Dose Mapper技术、步进重复挑战、ARF浸没光刻技术等。讨论了光刻胶对比曲线、Abe Rayleigh准则、投影印刷和投影镜头的演变历程。还涉及了离子照射、三束成像技术、相位冲突、OPC工程等内容。视频强调了光刻技术在半导体制造中的重要性,以及激光技术在提高生产效率和产品质量方面的应用。 關鍵時刻
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