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单晶硅晶圆制造工艺流程
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https://www.youtube.com/watch?v=ad-fZDchlo0 单晶硅晶圆制造,从原材料、生长、硅锭研磨截断、线锯成片、边缘研磨、表面研磨、刻蚀、双面研磨、快速热处理、抛光、清洗、平整度等检查、粒子技术、外延生长、包装,15个步骤形象介绍
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