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拉晶-倒角(哔哩哔哩)
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外圆磨削硅锭对硅锭进行外圆磨削,或对硅锭的外表面进行加工,使其定向平整。硅锭用圆柱形砂轮磨削负荷低,磨削性能和耐磨性好,硅锭表面平整度高,进一步的晶圆切割常用内圆切割、线切割等,不管哪一类型的切割,切割工具都是关键因素,切割时,若刀片无法承受晶体的压力,容易产生变形和侧向摆动,晶面切割不平整,是晶体损耗严重。从晶锭上锯下晶圆后,晶圆具有锋利的边缘,在晶圆边缘研磨过程中用金刚石切割机将其磨圆。晶圆通过边缘研磨为后续工艺步骤做好了最佳准备。
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