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BOE,全称为缓冲氧化物刻蚀液(Buffered Oxide Etch),由氢氟酸(49%)水溶液与氟化铵水溶液按比例混合而成。这是一种常用的半导体制程中的..
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BOE,全称为缓冲氧化物刻蚀液(Buffered Oxide Etch),由氢氟酸(49%)水溶液与氟化铵水溶液按比例混合而成。这是一种常用的半导体制程中的关键材料,用于硅片的表面处理过程。其主要成分是氢氟酸和氟化铵,其中氢氟酸具有较强的腐蚀性,可以腐蚀玻璃和任何含有硅的物质。 然而,需要注意的是,这种液体对人体具有强烈的腐蚀性,如果皮肤接触到,可能会引起疼痛、红肿,甚至出现水泡变成青灰色等症状,严重的情况下可能需要进行截肢手术,甚至可能致命。因此在操作过程中需要非常小心,避免接触到皮肤或者呼吸道。
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