V
主页
FIB聚焦离子束技术
发布人
聚焦离子束(Focused Ion Beam, FIB)技术是一种利用静电透镜将离子束聚焦成极小尺寸的微切割技术。FIB技术可以用于多种材料的精密加工,包括剥离、沉积、注入、切割和微机械加工等。 FIB的关键特点包括: 1.高精度加工:FIB能够实现纳米级别的加工精度,适用于微纳加工和半导体行业。 2.多功能性:FIB不仅可以用来进行材料的蚀刻,还可以用来进行材料的沉积和离子注入,是一种多功能的微纳加工工具。 3.离子源:FIB使用的是离子源,其中液态金属离子源(Liquid Metal Ion Source, LMIS)是最常见的一种,它能够提供高亮度的离子束。 4.双束系统:FIB常与扫描电子显微镜(SEM)结合,形成双束系统,这样可以在一台设备上同时进行高分辨率成像和离子束加工。 5.沟道效应:在晶体材料中,由于晶向的影响,离子束可能在一个方向上穿透深度增大,这种现象称为沟道效应。 6.微区加工能力:FIB的微区加工能力得到了显著提升,例如使用Xe等离子源的FIB系统,其加工速度可以是传统Ga离子FIB的50倍。 7.应用领域:FIB技术广泛应用于材料科学、生命科学、物理学、化学化工、环境科学等领域的基础研究和应用研究。 8.样品制备:在冷冻电子断层成像技术(cryoET)中,FIB是常用的样品制备方法,可以提供近乎无损的样品减薄方式。 9.技术发展:FIB技术不断发展,与各种探测器、微纳操纵仪及测试装置集成,成为一个集微区成像、加工、分析、操纵于一体的功能强大的综合型设备。 10.学术会议:FIB技术的发展也促进了学术交流,如全国FIB技术及学术交流研讨会,为科技人员提供了一个沟通交流和信息共享的平台。 FIB技术因其独特的优势,在微纳尺度科研和工业应用中发挥着越来越重要的作用。随着技术的不断进步,FIB的应用范围和影响力将继续扩大。
打开封面
下载高清视频
观看高清视频
视频下载器
磁控溅射怎么约束离子走向基板
电子束光刻的分类
电子束蒸发
FIB制样
外延工艺
电子束光刻的原理
MEMS键合工艺
步进式曝光
MEMS光刻加工
不同光刻胶的区别
CVD中的PSG,BPSG,FSG分别是什么?
MEMS镀膜工艺
ITO导电玻璃
重掺杂硅片
外延工艺
承接封装,微流道制造,复杂图案制造等MEMS工艺#MEMS #封装 #微流道制造
电子束光刻工艺流程
刻蚀:干法刻蚀ICP,RIE,湿法刻蚀
扩散和掺杂
磁控溅射蒸镀钛酸钡薄膜,制造需求:厚度100-500nm,磁控溅射的过程中边加热衬底(加热温度可调200-800度)边蒸镀。可以做的请联系:MEMSMNT
MEMS医疗前景广阔
BOE,全称为缓冲氧化物刻蚀液(Buffered Oxide Etch),由氢氟酸(49%)水溶液与氟化铵水溶液按比例混合而成。这是一种常用的半导体制程中的..
原子力显微镜AFM
MEMS几乎可以实现人体所有感官功能
MEMS工艺中的电子束光刻主要流程
CMP晶圆抛光
深硅刻蚀
如何制作掩膜版
超纯水
MEMS技术的广泛应用
原子力显微镜AFM
EBSD材料表征技术
TEM拍照,欢迎咨询。
电子束光刻的基石:光刻胶
芯片制造中的金属杂质问题
扎根珠江新城核心区3年,收获了越来越多的会员认可,相信聚焦深耕价值的力量。
在Paul trap中束缚单个离子,micromotion是如何产生的?
设计具有三维互通的大孔隙结构,以促进电解质离子的快速迁移,是获得高性能柔性可穿戴MXene储能器件的有效途径。
当年央视报道外星人造访地球新闻,感觉还挺魔幻的
看看有意思的化石