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电子束光刻工艺流程
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通常,MEMS工艺中的电子束光刻主要流程依次为:基片表面预处理、涂覆光刻胶、前烘、电子束曝光、显影、定影、金属沉积及去胶等工艺环节,整个光刻工艺流程较为复杂。电子束光刻是迄今为止分辨率最高的光刻技术,由于直写式的方法不需要昂贵且费时的掩模版,加工灵活,已经引起广泛的重视,随着产业界对MEMS技术要求的不断提高,电子束光刻已逐渐成为MEMS工艺的新支柱。
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