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超纯水
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什么是超纯水?超纯水 (UPW) 是经过高度纯化的水,去除了所有矿物质、颗粒、细菌、微生物和溶解的气体。在芯片厂里,它也经常会被混称为 DI Water(去离子水),但国内通常把去离子水与超纯水分的比较开,其实去离子水是包含了超纯水的范畴,超纯水是标准更高的去离子水。芯片厂为什么要使用超纯水? 普通的水中含有氯,硫等杂质,会腐蚀芯片中的金属。如果水中有Na,K等金属杂质,会造成MIC(可动离子污染)等问题。因此芯片制造需要一个绝对干净的水质,超纯水应运而生。在芯片制造过程中,微小的杂质或颗粒可能会导致产品缺陷,甚至导致产品失效。因此不仅是水,其他各种半导体材料如化学品,气体等都需要超高的纯度。
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