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承接封装,微流道制造,复杂图案制造等MEMS工艺#MEMS #封装 #微流道制造
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承接封装,微流道制造,复杂图案制造等MEMS工艺#MEMS #封装 #微流道制造
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MEMS光刻加工
FIB制样
电子束蒸发
电子束光刻微纳结构图案
FIB聚焦离子束技术
步进式曝光
磁控溅射蒸镀钛酸钡薄膜,制造需求:厚度100-500nm,磁控溅射的过程中边加热衬底(加热温度可调200-800度)边蒸镀。可以做的请联系:MEMSMNT
MEMS装置的制造
ITO导电玻璃
不同光刻胶的区别
CVD中的PSG,BPSG,FSG分别是什么?
MEMS键合工艺
重掺杂硅片
压电微机械超声换能器(PMUT)是一种利用压电材料的正逆压电效应来发射或接收超声波信号的微机电系统(MEMS)器件。PMUT通过压电薄膜的振动来实现超声波的..
扩散和掺杂
电子束光刻的分类
MEMS刻蚀工艺
MEMS医疗前景广阔
MEMS几乎可以实现人体所有感官功能
电子束光刻工艺流程
环氧树脂光刻胶
刻蚀:干法刻蚀ICP,RIE,湿法刻蚀
TEM透射电子显微镜
电子束光刻的原理
深硅刻蚀
什么是流片?
承接悬空薄膜制备,悬空微纳器件集成,批量化制造与设计。
MEMS工艺中的电子束光刻主要流程
柔性电子器件
器件制造:晶体管制造,二维器件制造,微纳器件制造等,可定制与咨询。#器件制造 #晶体管制造 #微纳器件制造 #二维器件 #MEMS
MEMS技术咨询
BOE,全称为缓冲氧化物刻蚀液(Buffered Oxide Etch),由氢氟酸(49%)水溶液与氟化铵水溶液按比例混合而成。这是一种常用的半导体制程中的..
MEMS技术的广泛应用
掩膜版制造注意事项。
外延工艺
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TEM拍照,欢迎咨询。
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外延工艺
MEMS微机电系统的首次提出