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GZO是铟镓锌氧化物
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IGZO是铟镓锌氧化物的缩写,是一种用于新一代薄膜晶体管技术中的材料。TFT指的是“薄膜电晶体”,位于液晶面板的下方玻璃基板中的像素驱动模组中,其形态为薄膜状,与像素元件一起嵌入在这个驱动模组当中。 IGZO薄膜晶体管(TFTs)由于其良好的电学性能,且可以大面积低温制备等优点受到科研工作者和产业界的广泛关注。目前,在显示应用领域,氢化非晶硅薄膜晶体管的迁移率通常低于1 cm2/(V×s),而且在力和光照下器件性能不稳定。低温多晶硅TFTs相比于氢化非晶硅TFTs具有高的迁移率和良好的稳定性,但制备成本相对较高,尤其是对于大尺寸显示器。IGZO TFTs很好地兼备了高迁移率、低成本且工艺兼容的优势,被大规模地应用在新一代显示驱动领域。除了在显示驱动方面具有重大应用价值,IGZO TFTs在传感器和新概念神经形态器件与类脑芯片等领域也具有重要应用前景。
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